金融界 2025 年 1 月 31 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，合肥领航微系统集成有限公司请求一项名为“一种根据单轴振荡传感器的 MEMS 芯片”的专利，公开号 CN 119384211 A，请求日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显现，本发明公开了一种根据单轴振荡传感器的 MEMS 芯片，触及半导体工艺技术领域，包含衬底，所述衬底具有相对的正面及反面，所述正面设置压电层，压电层包含顺次层叠设置的底电极、压电薄膜和顶电极，芯片对应背腔纵向投影区域范围内的结构为振膜，背腔纵向投影区域的压电层为振膜，所述压电薄膜包含坐落非振膜区域内的压电薄膜主体以及坐落振膜区域内的中心块、多个悬臂梁和多个固置梁，所述中心块坐落振膜区域的中心所述固置梁的两端别离衔接所述中心块和所述压电薄膜主体，所述悬臂梁的一端与所述中心块衔接，悬臂梁对遭到的力进行扩大。本发明经过悬臂梁扩大力的效果，提高灵敏度，并经过固置梁提高芯片的稳定性。
天眼查资料显现，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，坐落合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册本钱754.299万人民币，实缴本钱504.3万人民币。经过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参加招投标项目2次，知识产权方面有商标信息2条，专利信息76条，此外企业还具有行政许可4个。
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